特种气体管道系统工程

特种气体管道系统工程

特种气体管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危险性，应确保安全性的特气。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

我公司提供从供气系统、排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以安全为第一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特气系统主要包括气源供应(特气柜、BSGS)、特气分配(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工艺过程控制(PLC自动控制器)、以及气体泄漏侦测、尾气处理等主要模块。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet) 内，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB,Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘 (GB, Gas Box) 与制程控制模块联机，以质流控制器(MFC, MassFlow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP,Valve Manifold Panel)进行供应。